利用蒸餾設備配套蒸汽發生器將水蒸汽化，然后使水蒸氣凝成水，即成蒸餾水。蒸餾可以除去水中的重金屬、有機物、病毒、細菌等各種有害物質，將湖水、河水、地下水轉變成純凈的水。實驗研究中為了試驗結果的準確性一般用水都是經蒸餾過的水。

制作蒸餾水時蒸發形式可分升膜式和降膜式兩種，過程中蒸餾設備配套蒸汽發生器使用，但其工作流程及原理基本獨立。蒸餾水機中，水進入冷凝器后把周圍的高溫蒸汽、蒸餾水冷凝，同時進入的水受到預熱，然后通過各塔進一步提高溫度，減少原料加熱至沸點的能量消耗。

蒸餾設備配套蒸汽發生器工作穩定精準，加入的水通過進料泵進入到分離器和蒸發器中，由液位傳感器與PLC連接控制液位，工業蒸汽則進入到蒸汽發生器對新加入的水加熱到蒸發溫度，這樣水就轉變成了蒸汽。在分離器的高度進程中，通過重力作用將該蒸汽中的小液滴分離出去，回到原料水中進行重新蒸發，進一步純化產生的蒸汽。